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인천대 이한보람 교수와 아주대 오일권 교수가 전자현미경 장비의 코팅 장비 및 공정 기술을 개발해 관련 기업에 기술이전 했다. 기술이전 규모는 총 11억 7500만원이다.
20일 인천대학교(총장 박종태)는 인천대 이한보람 교수 (신소재공학과) 연구팀이 아주대 오일권 교수 (지능형반도체공학과) 연구팀과 공동으로 주사전자현미경(SEM) 및 투과전자현미경(TEM)의 선명한 측정을 위한 3차원 전도성 코팅 방법을 개발해 이를 관련 기업에 기줄이전했다고 밝혔다.
연구팀이 개발한 기술은 전자현미경 활용을 위한 전처리 장비의 핵심 기술이다. 이 기술은 100℃ 이하의 저온에서 샘플 표면에 전도성금속 박막을 형성할 수 있는 원자층 증착 공정(ALD)을 이용, 미세한 요철이 많거나 복잡한 3차원 구조에서도 전도성 박막을 매우 얇고 균일하게 코팅할 수 있게 한다.
이에 전자현미경 측정 시 샘플 표면의 변질이나 이미지 왜곡이 없는 선명한 현미경 이미지를 얻을 수 있다. 또 고온 처리가 필요 없어, 열로 인한 샘플 손상의 우려가 없다는 장점을 가진다.
반도체 원자층증착(ALD, Atomic Layer Deposition)은 원자층을 쌓아 올려 막을 만드는 적층 방식으로, 반도체 집적도를 높이기 위한 궁극의 기술로 주목받고 있다.
해당 기술은 반도체 연구 장비를 생산하고 있는 기업 씨엔원(CN1)으로 이전됐다. 씨엔원(대표 정재학)은 반도체 원자층증착(ALD) 연구 장비를 생산하는 반도체·디스플레이 전문 장비 회사로, 국내 대학 및 연구기관과 삼성전자 등의 대기업에 장비를 공급해왔다.
2008년 설립된 이 회사는 주로 반도체 양산 전 단계의 R&D 시장을 공략해왔으며, 반도체뿐 아니라 2차전지 등으로 사업 영역을 확장해 가고 있다. 씨엔원은 미국, 일본, 중국, 싱가포르, 대만 등 해외시장에 진출해 글로벌시장에서 입지를 넓혀가고 있으며, 끊임없는 기술 개발을 통해 외산 장비 의존율이 높은 국내 반도체 시장에서 묵묵히 장비 국산화에 이바지하고 있다. 이 회사는 2018년 수출유망중소기업 지정, 2019년 백만불 수출의 탑 수상, 2020년 글로벌 강소기업에 선정된 이노비즈(Inno-Biz) 인증 획득 등의 성과를 내왔다.
인천대 이한보람 교수는 “본 기술은 쉽게 말해 더욱 작은 것을 더 정밀하게 볼 수 있게 해주는 장치이다. 따라서 본 기술은 크기가 나노미터 사이즈로 줄어드는 반도체 기술이나 나노기술을 한 단계 발전시킬 중요한 요소 기술이다”라고 말했다.
인천대는 지역 거점국립대학으로써 지역 및 국가산업 기술경쟁력 강화를 위해 우수 연구성과에 대한 기술사업화 생태계 구축 전략과 지원체계를 구축하고 있으며, 이를 바탕으로 2022년도에는 기술이전수익 12억5,000만원(77건)으로 전국 136개 종합대학 중 30위를 달성했다. 이번 기술이전은 두 대학 간 긴밀한 협력체계와 “2023년도 지역산업연계 대학 Open-Lab 육성 지원 사업”을 통해 창출된 성과이다.
