한양대학교 ERICA(총장 이기정)가 5일, 글로벌 반도체 솔루션 공급 기업 인테그리스(Entegris)와 손잡고, 경기도 안산시 ERICA 캠퍼스혁신파크 내 ‘인테그리스 코리아 테크놀로지 센터(Korea Technology Center)’ 착공식을 개최했다. 

 
인테그리스는 반도체 및 기타 하이테크 산업을 위한 첨단 소재 및 공정 솔루션을 제공하는 세계적 기업으로, 미국, 캐나다, 중국, 독일, 이스라엘, 일본, 말레이시아, 싱가포르, 한국, 대만에 제조 및 연구시설을 보유하고 있다.

인테그리스 코리아 테크놀로지 센터는 지난 2012년에 수원에 처음 설립됐으며 시장의 고도화된 요구에 부응하기 위해 ERICA 캠퍼스혁신파크에 12,000m2 규모로 확장 이전하게 됐다. 새로운 코리아 테크놀로지 센터는 친환경 지붕과 태양광 패널, 폐수 재활용 시설을 갖추며, 2024년 말 완공될 예정이다. 

또한 코리아 테크놀로지 센터는 박막 증착, 연마, 첨단 습식 식각 및 세정 공정과 관련된 애플리케이션을 갖추고, 첨단 로직, DRAM, 3D 낸드 반도체 기술 분야에서 직접적인 협업을 촉진해 인테그리스의 역량을 모은 기술 허브가 될 전망이다. 인테그리스는 새로운 코리아 테크놀로지 센터에서 고객사가 맞이하고 있는 수율, 신뢰성 및 성능 문제에 대한 새로운 솔루션을 공동으로 모색할 예정이다. 

5일 오전 경기도 안산시 ERICA 캠퍼스혁신파크에서 개최된 이날 행사에는 이기정 한양대학교 총장, 베르트랑 로이 인테그리스 CEO, 김재원 인테그리스 코리아 사장, 홍상우 경기도 국제관계대사, 이민근 안산시장, 송바우나 안산시의회 의장 등이 참석했다.

이기정 한양대학교 총장은 “코리아 테크놀로지 센터 건립은 글로벌 기술리더인 인테그리스와 한양대 ERICA의 미래 성장에 중요한 이정표가 될 것임을 자신한다”며 “인테그리스와의 협력을 통해 우리 학생들과 연구원들에게 더 큰 기회가 제공되리라 믿고, 이것이 반도체 산업의 혁신에 기여할 것으로 기대한다”고 밝혔다.

베르트랑 로이 CEO는 “지난 30년 가까이 우리는 한국의 반도체 고객사와 협력해 왔으며, 안산시가 미래 반도체 산업의 중요한 거점이 될 것으로 믿는다”며, “고객과 최대한 가까운 곳에 위치한 기술 센터에 최고의 역량을 집중함으로써 고객과 더욱 효과적으로 협업할 수 있기를 기대한다.”고 밝혔다. 

이민근 안산시장은 “안산사이언스밸리 일대를 경제자유구역으로 지정받기 위해 총력을 기울이고 있는 시점에서 중요한 투자를 결정해 준 인테그리스에 감사드린다”며 “시에서는 R&D 센터 건립의 원만한 추진과 자유로운 기업활동을 위해 아낌없이 지원하겠다”고 말했다.

하영 기자 다른기사 보기