한양대가 지난 27일, ‘한양스마트반도체나노팹 클린룸’ 준공식을 개최했다. 한양대는 이번 제조공정 시설 구축을 통해 반도체 분야의 선도 기관으로 도약하겠다는 계획이다.

클린룸은 미세한 먼지를 비롯한 기온, 습도, 기류 기압 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소들이 일정 규격에 맞게 관리되는 공간이다.

이번에 신설된 클린룸은  618.15m2 면적에 청정도1000(포토존 100)의 환경으로 구축됐으며, 노광장비‧증착장비‧식각장비‧열처리장비 등 핵심 반도체 공정 장비가 설치될 예정이다.

구자겸 ㈜원방테크 회장은 한양대 기계공학부 동문으로서 클린룸 구축을 위해 17억 원 상당의 현물을 기부했다.

지난 27일 서울캠퍼스에서 진행된 준공식에는 김종량 한양학원 이사장, 김우승 총장, 안진호 원장을 비롯해 ㈜원방테크 구자겸 회장, 정우현 부회장 등 주요 관계자들이 참석했다.

안진호 한양스마트반도체연구원장은 “신설된 클린룸에서 더욱 안정적으로 반도체 관련 소자 및 신소재 연구가 진행될 것”이라며 “지속적인 교육과 연구를 통해 국가 및 반도체 산업 경쟁력 향상에 기여하겠다”라고 말했다.

신다인 기자  shin@kyosu.net

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