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서강대 허남회 교수팀, 중대형융합형성과 확산지원 선정
서강대 허남회 교수팀, 중대형융합형성과 확산지원 선정
  • 이지원
  • 승인 2021.07.09 09:23
  • 댓글 0
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고수율 반도체 공정 화학소재 기술 사업화 과제 지원, 30개월간 중대형 기술이전과 총 18억 연구 지원금 수주
서강대 허남회 교수
서강대 허남회 교수

서강대(총장 심종혁) 화학전공 허남회 교수팀이 2021년도 과학기술정보통신부 연구산업육성사업의 ‘중대형 융합형성과 확산지원’ 사업에 선정되었다. 

본 사업은 연구산업 기반을 조성하고 역량을 강화하여 국가 연구 개발 생산성을 제고하고 과학 기술 일자리를 창출하기 위해 기획되었다.

특히 융·복합 기술 등 사업성과 시나리오를 분석하여 비즈니스 모델 타당성을 검토하고, 신제품·서비스 실용화 R&D, 기술완성도 검증, 양산, 시험·평가 등 인허가와 사업화 전략 구체화까지 기술의 사업화 전 과정을 지원할 예정이다.

허남회 교수팀 연구 과제명은 ‘고수율 반도체 공정 화학소재 기술 사업화’다.

서강대에서 개발한 고체 하이드라진 제조 공정 기술을 ‘㈜천보’에 기술이전하고 공동 개발을 통해 양산 및 사업화를 이끌어 낼 계획이다.

연구 기간은 올해 7월부터 2023년까지 30개월간이며, 기술가치평가를 통해 정액 기술료와 경상 기술료를 받을 예정이다. 

이 연구에서 반도체 식각 소재인 고리 아민 제조에 사용되는 액체 하이드라진 대신, 높은 안정성과 친환경적인 특성을 가지는 고순도 고체 하이드라진으로 대체 사용하여 고리 아민 식각 소재의 사업화 가능성 및 타당성을 검증할 계획이다.

또한 고체 하이드라진 및 고리 아민의 국내외 연구 개발 현황 및 시장 동향을 분석하고 사업화 로드맵을 구축하여 반도체 소부장(소재·부품·장비) 기술의 국가 경제력 신장과 반도체 소재 시장 경쟁력을 확보할 예정이다. 

허남회 화학과 교수는 ‘산학협력을 통해 고체 하이드라진 및 고리 아민 기술개발에 필요한 연구, 품질, 생산 영업 분야의 전문인력을 양성하여 일자리 창출에 기여하겠다’고 포부를 밝혔다. 

한편 서강대는 2020년 공시 기준으로, 전임교원 1인당 0.417건의 과학기술 이전 건수를 선보이며 주요 대학 중 1위를 차지하였다.

기술이전 수입과 특허 출원 및 등록 건수, 산학협력 수익 모두 주요 대학 3위 안에 드는 최상위 수준을 유지하고 있다. 


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